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本发明涉及蚀刻液组合物，提供一种在蚀刻上部金属膜的工序中能够使对下部金属膜的损伤达到最小的蚀刻液组合物。根据本发明的蚀刻液组合物，在上部膜的蚀刻工序中能够抑制下部膜的损伤，使金属析出物的生成最少，防止发生偏态(skew)，提高工序效率。...
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