下载掩膜板张网方法、掩膜板张网装置及掩膜板的技术资料

文档序号:24343732

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本发明公开了一种掩膜板张网方法、掩膜板张网装置及掩膜板。掩膜板张网方法包括:在张网平台上预设坐标系;将掩膜板框架置于张网平台上,获取第一对位点在坐标系中的第一实际位置;对掩膜板框架进行框架位置校正,获取第一对位点在坐标系中的校正位置;根据第...
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