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本发明涉及溅射靶的捆包结构体及溅射靶的捆包方法。本发明的目的在于提供能够以充分的真空状态将一端设置有凸缘部且另一端被密封的筒型溅射靶的外侧及内侧捆包的、溅射靶的捆包结构体。本发明的解决手段为溅射靶的捆包结构体，其具备：溅射靶，所述溅射靶具有...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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