【技术实现步骤摘要】
溅射靶的捆包结构体及溅射靶的捆包方法
本申请主张于2018年11月26日提出申请的日本专利申请第2018-219946号的优先权及其利益，其全部内容以参照的方式并入本申请。本专利技术涉及溅射靶的捆包结构体及溅射靶的捆包方法。
技术介绍
作为无机薄膜的形成方法，已知溅射法。在实施溅射法的溅射装置中，包括使用平板型溅射靶作为溅射靶的装置、和使用筒型溅射靶作为溅射靶的装置。这些之中，使用筒型溅射靶的溅射装置形成为下述这样的构成：一边从筒型溅射靶的内侧将靶材冷却，一边在使筒型溅射靶旋转的同时实施溅射。因此，使用筒型溅射靶的溅射装置中，靶材的使用效率达到70％以上。该使用效率与使用平板型溅射靶的溅射装置相比非常高，从节省资源、减轻经济负担的观点出发是有用的。另一方面，对于筒型溅射靶及平板型溅射靶中的任一者而言，通常，当将溅射靶出货或保管时，均是将其装入树脂制的袋中，然后对内部进行真空抽吸，或者导入非活性气体。这是为了防止灰尘的附着或溅射靶的变性(例如氧化)而实施的。专利文献1中记载了下述溅射靶的包装装置：当对用...
【技术保护点】
1.溅射靶的捆包结构体，其具备：/n溅射靶，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖；和/n包装材料，所述包装材料由片材构成，且以密合状态覆盖所述溅射靶的内表面及外表面，/n所述包装材料在所述溅射靶的两端侧具备密封部。/n
【技术特征摘要】
20181126 JP 2018-2199461.溅射靶的捆包结构体，其具备：
溅射靶，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖；和
包装材料，所述包装材料由片材构成，且以密合状态覆盖所述溅射靶的内表面及外表面，
所述包装材料在所述溅射靶的两端侧具备密封部。
2.如权利要求1所述的溅射靶的捆包结构体，其中，所述密封部位于所述溅射靶的两端的外侧。
3.如权利要求1或2所述的溅射靶的捆包结构体，其中，所述包装材料与所述溅射靶之间为真空状态。
4.如权利要求1～3中任一项所述的溅射靶的捆包结构体，其中，所述捆包结构体的所述溅射靶的所述凸缘部与所述包装材料之间的分离距离在从捆包起于20℃大气压下经过1周后小于10mm。
5.溅射靶的捆包结构体，其具备：
溅射靶，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖；和
由片材构成的包装材料，
所述溅射靶与所述包装材料之间为真空状态，以及/或者，所述溅射靶与所述包装材料为密合状态，
所述溅射靶的所述凸缘部与所述包装材料之间的分离距离在从捆包起于20℃大气压下经过1周后小于10mm。
6.如权利要求1～5中任一项所述的溅射靶的捆包结构体，其中，所述包装材料具有不易透过氧及水的特性。
7.如权利要求1～6中任一项所述的溅射靶的捆包结构体，其中，所述溅射靶具有1000mm以上且5000mm以下的长度方向的长度。
8.溅射靶的捆包方法，其为利用包装材料将溅射靶捆包的方法，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖，所述方法包括下述工序：
将由在一端及另一端具有开口部的筒状片材构成的所述包装材料以所述溅射靶的凸缘部侧朝向所述包装材料的一端的方式罩在所述溅射靶的外侧的工序；
将所述包装材料的一端的开口部封闭的工序；
将所述溅射靶的凸缘部侧的、所述包装材料的开口部被封闭的所述一端推入所述溅射靶的内侧的工序；
从所述溅射靶的盖侧的、所述包装材料的另一端的开口部抽真空，将所述另一端的开口部封闭的工序；和
将所述溅射靶的凸缘部侧的所述包装材料的局部开口，从所述局部的开口部抽真空，将所述局部的开口部封闭的工序。
9.溅射靶的捆包方法，其为利用包装材料将溅射靶捆包的方法，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖，所述方法包括下述工序：
将由一端具有闭口部且另一端具有开口部的袋状片材构成的所述包装材料以所述溅射靶的凸缘部侧朝向所述包装材料的闭口部...
【专利技术属性】
技术研发人员：西冈宏司，佐藤尚也，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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