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本发明公开了一种预防研磨液沉淀的装置，包括：连接在研磨液供应系统和化学机械研磨机台之间的研磨液供应管路；在靠近化学机械研磨机台一侧的研磨液供应管路上设置有回流出口；研磨液回流管路设置在研磨液供应系统和回流出口之间；研磨液供应管路上设置有可旋...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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