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基于角度多路复用的宽带太赫兹分子指纹痕量检测光栅制造技术
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下载基于角度多路复用的宽带太赫兹分子指纹痕量检测光栅的技术资料
文档序号:24336132
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本发明涉及光栅技术领域,提供了一种基于角度多路复用的宽带太赫兹分子指纹痕量检测光栅,所述检测光栅包括:金属层、衬底层、光栅层和共形层;其中,金属层和衬底层自下而上复合形成;光栅层呈周期性均匀分布在衬底层上;共形层在光源通过预设的动态角度扫描...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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