下载用于形成二氧化硅膜的组合物、二氧化硅膜的制造方法和二氧化硅膜的技术资料

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提供了一种用于形成二氧化硅膜的组合物,该组合物含有含硅聚合物和溶剂,其中由用于形成二氧化硅膜的组合物形成的二氧化硅膜满足关系式1。关系式1的定义如说明书中的描述。...
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