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本发明公开了一种体声波谐振器的顶电极结构及制作工艺，制备设置有空腔的衬底，在衬底上依次制作覆盖空腔的底电极层和压电层；在压电层上制作介质隔离层，使介质隔离层覆盖于压电层顶部的部分上表面；以及在介质隔离层和压电层上制作顶电极层，顶电极层覆盖在...
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