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本发明提出一种垂直腔面发射激光器及其制造方法与应用，包括，衬底；第一反射层，形成在所述衬底上；至少两个发光单元，形成在所述第一反射层上，每一所述发光单元包括至少两个发光子单元；第一沟槽，形成在所述至少两个发光单元之间，所述第一沟槽暴露出所述...
该专利属于常州纵慧芯光半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州纵慧芯光半导体科技有限公司授权不得商用。

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