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本发明提供一种晶圆承载装置，其包括：承载盘；多个限位夹具，间隔设置在所述承载盘的四周，且所述限位夹具的顶端突出于所述承载盘的承载面，在与所述承载盘的承载面平行的方向上，至少一个所述限位夹具能够相对于所述承载盘移动。其优点在于，在检测系统不报...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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