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本发明提供一种晶圆校准装置和方法及一种晶圆边缘刻蚀设备和方法，晶圆校准装置用于将晶圆按设定同轴度公差同轴放置于一圆柱形承载台顶部，承载台的直径小于晶圆直径，装置包括：校准环和驱动装置，校准环的内圈上部设置有一小端朝下且与承载台同轴设置的圆锥...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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