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本发明公开了一种晶圆加工设备，其结构包括加工箱体、操作面板、压板、合盖，加工箱体的内部分有驱动腔与清洗槽体，操作面板用于控制内部的驱动腔，合盖采用铰接连接方式配合在加工箱体上，合盖的外表面固定有压板，清洗槽体上设置有晶圆夹持座与清洗机构、容...
该专利属于饶正盛所有，仅供学习研究参考，未经过饶正盛授权不得商用。

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