温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种等离子反应器，包括：反应腔体，反应空间底部包括一个基座，用于支撑处理基片；一射频电源输出射频功率到反应腔体内；基座中包括一静电夹盘，静电夹盘中包括一加热器组，加热器组中包括多个加热模块，其中加热模块包括串联的一个加热器和一个电...
该专利属于中微半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。