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生产参数确定方法及装置、系统、存储介质和电子设备制造方法及图纸
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文档序号:24331504
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本发明公开了一种生产参数确定方法及装置、系统、存储介质和电子设备,涉及半导体制造技术领域。该生产参数确定方法包括:确定一工艺制程的历史工艺数据;利用所述历史工艺数据对一神经网络模型进行训练,以确定训练后的神经网络模型;将所述工艺制程中工艺机...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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