下载生产参数确定方法及装置、系统、存储介质和电子设备的技术资料

文档序号:24331504

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种生产参数确定方法及装置、系统、存储介质和电子设备,涉及半导体制造技术领域。该生产参数确定方法包括:确定一工艺制程的历史工艺数据;利用所述历史工艺数据对一神经网络模型进行训练,以确定训练后的神经网络模型;将所述工艺制程中工艺机...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。