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本实用新型涉及一种基于SOI衬底的TVS器件，基本单元由二氧化硅埋层和二氧化硅深、浅槽构成隔离层，所述的二氧化硅埋层表面有依序第一二氧化硅深槽、第一N‑区、N+区、第二二氧化硅深槽、第二N‑区、NW区和第三二氧化硅深槽，包含二个结构相同且由...
该专利属于上海维安半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海维安半导体有限公司授权不得商用。

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