下载压力传感器的技术资料

文档序号:24328620

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一种压力传感器,应用于压力传感器技术领域,包括:膜盒设置于壳体内,多个膜盒加热器分别贴附在壳体的外表面上,至少三个温度传感器均匀设置在壳体的内表面上,且每个膜盒加热器对应有至少一个温度传感器。通过将多个膜盒加热器分别贴附在壳体的外表面上,同...
该专利属于中国科学院微电子研究所;川北真空科技(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所;川北真空科技(北京)有限公司授权不得商用。

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