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本发明公开了一种高效纳米真空蒸发源，包括顶端敞口的热屏蔽组件，所述热屏蔽组件的底部与真空法兰连接，其内部设有用于装载源材料的坩埚组件。所述坩埚组件包括U型坩埚，所述U型坩埚的顶部设有与之一体成型的盖板。所述盖板的中部设有蒸镀开口，所述盖板的...
该专利属于苏州泓沵达仪器科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州泓沵达仪器科技有限公司授权不得商用。

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