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一种制备发光多孔硅粉的方法技术
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文档序号:24323150
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本发明提供了一种制备发光多孔硅粉的方法,包括以下步骤:1)向球磨罐中加入单晶硅片、去离子水、磨球,充入氩气或氮气作为保护气体,用球磨机研磨后得到单晶硅粉和水的混合物;2)将步骤1)的混合物在真空干燥箱中干燥得到单晶硅粉;3)将HF溶液与去离...
该专利属于河南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过河南理工大学授权不得商用。
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