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镀膜装置制造方法及图纸
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下载镀膜装置的技术资料
文档序号:24311365
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一种镀膜装置,其包括蒸发腔室以及固定在所述蒸发腔室的外表面上的支撑板,所述镀膜装置还包括与所述支撑板固定在一起的滑动元件以及与所述滑动元件相配合的导向元件,所述滑动元件能够在所述镀膜装置受热变形时沿平行于所述蒸发腔室的轴向的方向而相对所述导...
该专利属于苏州沃盾纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州沃盾纳米科技有限公司授权不得商用。
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