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一种Split Gate-IGBT结构及器件制造技术
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文档序号:24303697
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本实用新型提供一种Split Gate‑IGBT结构及器件,其中,Split Gate‑IGBT结构,包括Split Gate结构、Trench Gate结构;所述Split Gate结构之间设有一个或多个Trench Gate结构。本实用...
该专利属于厦门芯达茂微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门芯达茂微电子有限公司授权不得商用。
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