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一种用于半导体芯片生产用机械手制造技术
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下载一种用于半导体芯片生产用机械手的技术资料
文档序号:24303627
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本实用新型公开了一种用于半导体芯片生产用机械手,涉及半导体生产领域,包括移动运输板,所述移动运输板的上表面开设有若干条贯穿其一侧的第一滑槽,所述第一滑槽贯穿移动运输板的一侧设置有一移动板,所述移动板靠近移动运输板的一侧滑动连接有若干个与第一...
该专利属于深圳市松冠科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市松冠科技有限公司授权不得商用。
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