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本实用新型涉及一种矽晶圆片固定工装，用于固定矽晶圆片，其包括设置在矽晶圆片切割机工作台上的工装载体，及工装载体中心区域用于放置矽晶圆片的容纳空间；所述容纳空间是圆形镂空结构，尺寸与矽晶圆片相吻合；所述容纳空间上设置有限位接口，与矽晶圆片上的...
该专利属于福建自贸试验区厦门片区矽晶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建自贸试验区厦门片区矽晶科技有限公司授权不得商用。

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