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本实用新型属于晶圆加工设备技术领域，尤其为一种用于夹持晶圆以对其进行腐蚀的夹具，包括上夹板和下夹板，上夹板的左侧安装有支杆B，下夹板的左侧安装有支杆A，且支杆A与支杆B通过固定销固定，支杆A的左侧设置有把手A，支杆B的左侧设置有把手B，固定...
该专利属于无锡市查奥微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市查奥微电子科技有限公司授权不得商用。

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