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本实用新型实施例公开了一种用于芯片分离的装置。本实用新型的装置,包括:支撑架、载台、移动机构和载具,载台架设在支撑架上,移动机构设置在支撑架的底座上,载具设置在移动机构上,载具的顶板上设有矩形凸台,载具内设有隔板,隔板设有内腔,在隔板与顶板...该专利属于紫光宏茂微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过紫光宏茂微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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本实用新型实施例公开了一种用于芯片分离的装置。本实用新型的装置,包括:支撑架、载台、移动机构和载具,载台架设在支撑架上,移动机构设置在支撑架的底座上,载具设置在移动机构上,载具的顶板上设有矩形凸台,载具内设有隔板,隔板设有内腔,在隔板与顶板...