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本实用新型属于晶圆制造技术领域，尤其为一种晶圆刻蚀设备，包括机体、滑道、泵、导轴和支撑柱，所述机体首端外表面安装有控制屏，且所述控制屏位于机体左上角，指示灯安装在所述机体首端外表面，且所述指示灯位于所述控制屏下方，进料口安装在所述控制屏右侧...
该专利属于无锡市查奥微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市查奥微电子科技有限公司授权不得商用。

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