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本实用新型公开了一种芯片与基板对位及精调平的显微激光系统，解决了如何将激光精定位与显微光学系统结合在一起实现键合精定位的问题。本实用新型是通过带有同轴光源的显微成像相机所发出的同轴光线分别经过芯片靶标反射镜和基板靶标反射镜反射后，返回到显微...该专利属于西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)所有，仅供学习研究参考，未经过西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)授权不得商用。