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本实用新型公开了一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置，以解决现有技术无法获得氩原子束的问题。该装置包括：真空管路，为一真空的空心腔室；氩气枪，设置于真空管路的一侧，用于产生氩气束，并将氩气束输送至真空管路内；汇聚管路，设置于真空管路的另一...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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