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本实用新型公开了硅片清洗领域内的一种金刚线切割硅片降低污片风险装置,包括第一鼓泡漂洗槽、第二药剂漂洗槽、第三药剂漂洗槽、第四药剂漂洗槽、第五超声漂洗槽、第六溢流漂洗槽、第七溢流漂洗槽和第八溢流漂洗槽,所述第一鼓泡漂洗槽的上方对应设置有可移动...该专利属于扬州续笙新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州续笙新能源科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了硅片清洗领域内的一种金刚线切割硅片降低污片风险装置,包括第一鼓泡漂洗槽、第二药剂漂洗槽、第三药剂漂洗槽、第四药剂漂洗槽、第五超声漂洗槽、第六溢流漂洗槽、第七溢流漂洗槽和第八溢流漂洗槽,所述第一鼓泡漂洗槽的上方对应设置有可移动...