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薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置制造方法及图纸
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下载薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置的技术资料
文档序号:24296970
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提供一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置。薄膜晶体管包括栅极(41)、与栅极电性绝缘的有源层(20)、源极和漏极,以及设置在栅极和有源层(20)之间的栅绝缘层(31),源极和漏极分别与有源层相接触,栅绝缘层和栅极通过以下步骤形成:...
该专利属于深圳市柔宇科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市柔宇科技有限公司授权不得商用。
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