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本发明提供一种提高了可靠性的激光装置。高频电源(400)向包括一对放电电极(202、204)的电容的谐振电路(210)施加高频电压(V...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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