激光装置用的电源装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种提高了可靠性的激光装置。高频电源(400)向包括一对放电电极(202、204)的电容的谐振电路(210)施加高频电压(V

Power supply for laser device

【技术实现步骤摘要】
激光装置用的电源装置本申请主张基于2018年11月19日申请的日本专利申请第2018-216527号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
本专利技术涉及一种电源装置。
技术介绍
作为工业用加工工具，广泛普及有激光加工装置。激光加工装置使用CO2激光器等大功率的气体激光器。图1是激光装置100R的框图。激光装置100R具备激光谐振腔200及电源装置250R。激光谐振腔200具备一对放电电极202、204、全反射镜206及半透反射镜208。一对放电电极202、204设置在填充有CO2等激光介质气体的气体腔室内。在一对放电电极202、204之间存在静电电容C。该静电电容C与电感器L(电感器元件或寄生电感)形成具有谐振频率fRES的谐振电路210。电源装置250R向谐振电路210施加高频电压VRF。高频电压VRF的频率fRF(以下，称作同步频率)设定在谐振电路的频率fRES的附近。通过施加高频电压VRF，在一对放电电极202、204之间流过放电电流。激光介质气体被放电电流激励而形成粒子数反转。受激发射光在由全本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电源装置，其驱动包括一对放电电极的激光谐振腔，所述电源装置的特征在于，具备：/n高频电源，向包括所述一对放电电极的电容的谐振电路施加高频电压；/n过电压抑制电路，抑制所述谐振电路的两端之间或者所述高频电源的内部节点的过电压；/n开关，与所述过电压抑制电路串联连接；及/n异常检测器，若检测到异常则使所述开关导通。/n

【技术特征摘要】
20181119 JP 2018-2165271.一种电源装置，其驱动包括一对放电电极的激光谐振腔，所述电源装置的特征在于，具备：
高频电源，向包括所述一对放电电极的电容的谐振电路施加高频电压；
过电压抑制电路，抑制所述谐振电路的两端之间或者所述高频电源的内部节点的过电压；
开关，与所述过电压抑制电路串联连接；及
异常检测器，若检测到异常则使所述开关导通。


2.根据权利要求1所述的电源装置，其特征在于，
所述激光谐振腔的壳体经由地线接地，
所述异常检测器根据流过所述地线的电流来检测所...

【专利技术属性】
技术研发人员：山口英正，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP