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电泵浦量子点单光子源及其制备方法技术
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文档序号:24291530
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本发明提供了一种电泵浦量子点单光子源及其制备方法,方法包括:步骤S101:准备III‑V族化合物量子阱发光芯片;步骤S102:在III‑V族化合物量子阱发光芯片上制作金属孔;步骤S103:在步骤S102制出的芯片表面引入量子点,完成器件的制...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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