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具有集成体二极管的SiC功率半导体器件制造技术
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下载具有集成体二极管的SiC功率半导体器件的技术资料
文档序号:24291285
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提供了SiC器件和相应的制造方法的实施例。在一些实施例中,SiC器件具有在一些栅极沟槽的底部处的屏蔽区以及在其他栅极沟槽的底部处与SiC材料一起形成的非线性结。在其他实施例中,SiC器件具有在栅极沟槽的底部处并且布置成行的屏蔽区,所述行在相...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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