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本申请公开了一种检测设备，包括：光源发生器，生成待处理光线；光源处理器，对待处理光线进行处理，以在待测物上形成尺寸可调节的光斑；信号收集器，在不同放大倍率下收集检测区域中的缺陷产生的探测光；探测器，对探测光进行探测得到探测光信号。本申请实施...
该专利属于深圳中科飞测科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技有限公司授权不得商用。

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