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本发明的目的在于提供一种垂直微裂纹的厚度的检查装置及方法，使用线扫描摄像机测定脆性基板的整个区域，测定在分割通过划片机形成刻划线后的脆性基板后是否在分割面上形成为判断刻划结果好坏的指标的垂直微裂纹及其厚度。为了实现所述目的，一个实施例的垂直...
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