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实用新型涉及进气结构领域，且公开了一种热丝CVD沉积系统的丝架结构，包括真空箱主体，所述真空箱主体的顶部固定安装有真空室顶板，所述真空室顶板的内部插设有进气管，所述进气管上从上到下依次固定安装有阀门、第二固定环、第一密封胶环、第一固定环与第...
该专利属于洛阳奥尔材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳奥尔材料科技有限公司授权不得商用。

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