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本实用新型公开了一种气相沉积炉的沉积装置，所述沉积装置由固连于一起的石英手柄与石英引杆组成，所述石英手柄包括连接于石英引杆上的短杆，所述短杆远离石英引杆的端部形成有上凸台和下凸台。本实用新型的气相沉积炉的沉积装置，采用双凸台设计，将装卸、承...
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