【技术实现步骤摘要】
气相沉积炉的沉积装置
本技术涉及气相沉积炉
,具体涉及一种合成石英玻璃中用到的沉积装置,特别是用于形成二氧化硅松散体的沉积装置。
技术介绍
合成石英玻璃纯度高,紫外透过率高,抗析晶性能强,耐温性高,使用寿命长,被广泛用于光纤制造、光学仪器制造、半导体光刻蚀用光掩模板制造等高新
合成石英玻璃主要以四氯化硅或有机硅为原料,通过CVD、PCVD或间接合成法方式进行制备。其中间接法具有沉积温度低,沉积速度高,能耗及制备成本低,纯度高等优点。采用间接法合成石英玻璃,炉中需设计一个沉积装置,该结构能够沉积纳米级二氧化硅松散体,并在炉中通过脱水、脱气及烧结玻化处理,获得高纯合成石英。传统的合成石英玻璃沉积装置,生产装卸不方便,容易磕碰或磨损导致碎裂,一旦发生容易导致合成棒料掉落破坏炉体,存在安全隐患。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种气相沉积炉的沉积装置,该沉积装置采用双凸台设计,将装卸、承载和沉积功能分开,使得生产装卸方便,提升生产效率和安全性。为了解决上述技术问题,本技术提供了一种气相沉积炉的沉积装置,所述沉积装置由固连于一起的石英手柄与石英引杆组成,所述石英手柄包括连接于石英引杆上的短杆,所述短杆远离石英引杆的端部形成有上凸台和下凸台。进一步地,所述上凸台与下凸台的下端面形成为圆弧面,可有效减少石英手柄的拆装和转运过程中的磕碰。进一步地,所述圆弧面经过抛光处理,可降低旋转过程中下凸台端面形成裂纹的概率,提高了沉积装置的使用寿命。进一步 ...
【技术保护点】
1.一种气相沉积炉的沉积装置,其特征在于,所述沉积装置由固连于一起的石英手柄与石英引杆组成,所述石英手柄包括连接于石英引杆上的短杆,所述短杆远离石英引杆的端部形成有上凸台和下凸台。/n
【技术特征摘要】
1.一种气相沉积炉的沉积装置,其特征在于,所述沉积装置由固连于一起的石英手柄与石英引杆组成,所述石英手柄包括连接于石英引杆上的短杆,所述短杆远离石英引杆的端部形成有上凸台和下凸台。
2.如权利要求1所述的气相沉积炉的沉积装置,其特征在于,所述上凸台与下凸台的下端面形成为圆弧面。
3.如权利要求2所述的气相沉积炉的沉积装置,其特征在于,所述圆弧...
【专利技术属性】
技术研发人员:卫巍,葛磊,颜丽芳,张玉,刘宝,金勇,孙栋梁,陈程,顾清华,催景涛,邱徐斌,
申请(专利权)人:江苏亨通智能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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