【技术实现步骤摘要】
气相沉积炉的沉积装置
本技术涉及气相沉积炉
，具体涉及一种合成石英玻璃中用到的沉积装置，特别是用于形成二氧化硅松散体的沉积装置。
技术介绍
合成石英玻璃纯度高，紫外透过率高，抗析晶性能强，耐温性高，使用寿命长，被广泛用于光纤制造、光学仪器制造、半导体光刻蚀用光掩模板制造等高新
合成石英玻璃主要以四氯化硅或有机硅为原料，通过CVD、PCVD或间接合成法方式进行制备。其中间接法具有沉积温度低，沉积速度高，能耗及制备成本低，纯度高等优点。采用间接法合成石英玻璃，炉中需设计一个沉积装置，该结构能够沉积纳米级二氧化硅松散体，并在炉中通过脱水、脱气及烧结玻化处理，获得高纯合成石英。传统的合成石英玻璃沉积装置，生产装卸不方便，容易磕碰或磨损导致碎裂，一旦发生容易导致合成棒料掉落破坏炉体，存在安全隐患。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种气相沉积炉的沉积装置，该沉积装置采用双凸台设计，将装卸、承载和沉积功能分开，使得生产装卸方便，提升生产效率和安全性。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种气相沉积炉的沉积装置，所述沉积装置由固连于一起的石英手柄与石英引杆组成，所述石英手柄包括连接于石英引杆上的短杆，所述短杆远离石英引杆的端部形成有上凸台和下凸台。进一步地，所述上凸台与下凸台的下端面形成为圆弧面，可有效减少石英手柄的拆装和转运过程中的磕碰。进一步地，所述圆弧面经过抛光处理，可降低旋转过程中下凸台端面形成裂纹的概率，提高了沉积装置的使用寿命。进一步...
【技术保护点】
1.一种气相沉积炉的沉积装置，其特征在于，所述沉积装置由固连于一起的石英手柄与石英引杆组成，所述石英手柄包括连接于石英引杆上的短杆，所述短杆远离石英引杆的端部形成有上凸台和下凸台。/n
【技术特征摘要】
1.一种气相沉积炉的沉积装置，其特征在于，所述沉积装置由固连于一起的石英手柄与石英引杆组成，所述石英手柄包括连接于石英引杆上的短杆，所述短杆远离石英引杆的端部形成有上凸台和下凸台。
2.如权利要求1所述的气相沉积炉的沉积装置，其特征在于，所述上凸台与下凸台的下端面形成为圆弧面。
3.如权利要求2所述的气相沉积炉的沉积装置，其特征在于，所述圆弧...
【专利技术属性】
技术研发人员：卫巍，葛磊，颜丽芳，张玉，刘宝，金勇，孙栋梁，陈程，顾清华，催景涛，邱徐斌，
申请(专利权)人：江苏亨通智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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