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本实用新型涉及一种晶圆隔离环，包括环状主体，所述环状主体的顶面边缘设有凸出所述环状主体的顶面设置的环状支撑台；所述环状支撑台上设有若干通气槽；所述若干通气槽沿所述环状支撑台的周向间隔设置，还包括设置在所述环状主体外周壁的限位结构，所述限位结...
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