温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种晶圆载运装置，包括底盖，其上设有容置所述晶圆的容置槽；所述容置槽的内侧设有沿所述容置槽的径向凸起以支撑所述晶圆的环形支撑台；顶盖，所述顶盖设置在所述底盖的一侧且与所述底盖可活动连接，以盖合所述底盖，限位结构，其包括间隔设置...
该专利属于义柏科技(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过义柏科技(深圳)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。