温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种能够容纳多种尺寸的晶圆载具，它包括基座和多组高度不同的晶圆承载机构，且多组晶圆承载机构以基座的轴心为轴向外成扩散形设置。能够使湿法单片旋转制程设备运载150mm和156mm两种不同尺寸晶圆，提升设备的利用率，降低了生产制...
该专利属于成都海威华芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都海威华芯科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。