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本实用新型为一种具有配重结构的晶圆夹具，供以与夹持装置配合，而所述具有配重结构的晶圆夹具，包含：主体，供以夹持晶圆；配重块，组设于所述主体上；由此，当所述主体置于电镀槽中时，利用所述配重块的重量克服电镀液的浮力，使晶圆夹具直接稳设于电镀槽中...
该专利属于邱晓明所有，仅供学习研究参考，未经过邱晓明授权不得商用。

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