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本实用新型涉及一种声表滤波器晶圆表面的清洁治具，包括清洁平台，所述清洁平台内部形成密封腔体，所述密封腔体通过第一管路连接外部抽真空装置，所述第一管路上设有吸气阀；清洁平台的上表面设有定位槽，定位槽的形状与晶圆外部轮廓匹配，定位槽的表面上分布...
该专利属于无锡嘉硕科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡嘉硕科技有限公司授权不得商用。

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