下载一种划片机切割水清洗液自动加液装置的技术资料

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本实用新型公开了一种划片机切割水清洗液自动加液装置,涉及晶圆划片机加液技术领域,旨在解决通过现有技术中的自动喷液装置只能对划片机进行一对一的喷液,效率较低的技术问题,其技术方案要点是箱体内部设置有分隔板,分隔板把箱体分为混液区域和驱动区域;...
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