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本实用新型属于离子束抛光机领域，公开了一种用于离子束抛光机的离子源五轴跟踪机构及光学零件加工设备，解决现有离子束加工设备无法全程跟踪法向的问题。本实用新型的五轴跟踪机构包括X向移动机构，所述X向移动机构上设置有Y向移动机构，所述Y向移动机构...
该专利属于四川欧瑞特光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川欧瑞特光电科技有限公司授权不得商用。

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