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本实用新型涉及隔振基座技术领域，具体为一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座，包括支撑板，支撑板下端设置有若干均匀分布的横梁柱，横梁柱上设置有若干均匀分布的支撑装置，支撑装置包括横撑杆、立柱和X型支架，立柱的上端端部开设有方形凹槽，横梁柱贯...
该专利属于江苏瑞鑫集成电路设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏瑞鑫集成电路设备有限公司授权不得商用。

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