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本公开的准分子激光装置具有：腔，其在内部包含激光气体和一对电极，激光气体的气压根据对一对电极之间施加的电压被进行控制，由此生成进行脉冲振荡的激光；电源，其对一对电极之间施加电压；以及控制器，其输入激光的谱线宽度的目标值，在目标值从第1目标值...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。

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