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具有多金属栅极的晶体管制造技术
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下载具有多金属栅极的晶体管的技术资料
文档序号:24255031
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一种晶体管,该晶体管包括具有沿着晶体管的宽度分布的多个金属(M1‑M5)的栅极(130)。栅极中的金属中的每一个具有不同的功函数。当例如用作射频晶体管时,这种复合栅极提供更高的线性度。...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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