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用于裸片到裸片检验的适应性关注区域制造技术
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下载用于裸片到裸片检验的适应性关注区域的技术资料
文档序号:24255027
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本发明描述用于使用适应性关注区域ACA来执行裸片图像的缺陷检验的方法、系统及制品。使用ACA解决以下问题:处置需要旋转关注区域的组件的旋转;处置其中每一关注区域自身需要旋转、平移或仿射变换的情形;及使由缺陷或工艺变动引起的强度差与由大小变动...
该专利属于科磊股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科磊股份有限公司授权不得商用。
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