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本发明提供一种增加能量闭锁效益的石英压电晶片及晶圆,该晶圆包括阵列排布的石英压电晶片,所述石英压电晶片具有一基底,所述基底一端的上表面与下表面对称设置有凹槽,所述凹槽中部设置有凸台,所述凸台的高度小于凹槽的深度。该石英压电晶片具有凹槽式双凸...该专利属于广东惠伦晶体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东惠伦晶体科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种增加能量闭锁效益的石英压电晶片及晶圆,该晶圆包括阵列排布的石英压电晶片,所述石英压电晶片具有一基底,所述基底一端的上表面与下表面对称设置有凹槽,所述凹槽中部设置有凸台,所述凸台的高度小于凹槽的深度。该石英压电晶片具有凹槽式双凸...